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晶圆背面打标机(单头)

利用激光对晶圆上每个芯片进行指定文字或标记打。す獯拥撞孔饕,设备采用分区打印模式,对翘曲产品具备稳定作业能力。

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■ 设备参数:

设备能力

打印能力

Back   side marking (with Through-Film Laser Marking capability)

激光类型

Green(ns/ps)

加工材料

Si,   SiO?, EMC, partial metal coating

晶圆尺寸

8" , 12"

字体

SEMI   OCR , Dot Matrix and Customized

晶圆厚度

≥200μm

打标精度

±50μm

晶圆翘曲

200-1000μm,≤5mm

1000-2000μm,≤3mm

打印模式

Soft mark (DarkMark), Hard mark (White Mark), 2D matrix

上料模组

Bare   wafer Load Port*1

Frame   Wafer Load Port*1

振镜打印范围

Through   Tape165 x 165mm

通讯方式

SECS/GEM



■ 应用领域:

       设备兼容Wafer和Frame Wafer两种产品自动作业。



■ 加工效果示例图:

     


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